DEVICE FOR CAPACITOR WITH VARIABLE SURFACE, MICROMECHANICAL ACCELEROMETER AND GYROMETER COMPRISING SUCH A DEVICE

L'invention concerne notamment un dispositif (15) de condensateur à surface variable pour un microsystème électromécanique, le dispositif comprenant une première électrode (151) et une deuxième électrode (152) mobiles l'une par rapport à l'autre, la première électrode ayant une première surface (S1) libre et la deuxième électrode ayant une deuxième surface (S2) libre qui se superpose en partie à la première surface. Dans la partie ou elle se superpose à la deuxième surface, la première surface est délimitée latéralement par deux bords (b, b) rectilignes non parallèles entre eux. Dans la partie où elle se superpose à la première surface, la deuxième surface est délimitée elle aussi par deux bords (b, b) rectilignes et non parallèles entre eux. [0002] L'invention concerne aussi un microsystème électromécanique, par exemple un gyromètre, équipé d'un tel dispositif de condensateur à surface variable.