{
  "$type": "site.standard.document",
  "description": "L'invention est relative à un capteur ayant une masse (2) mobile relativement á un substrat (1), avec un dispositif de détection à transduction, comprenant une jauge (3) de contrainte suspendue au-dessus d'une face (13) du substrat (1) et comprenant un élément piézorésistif (31) ayant une première…",
  "path": "/patents/1415631",
  "publishedAt": "2023-11-08T00:00:00.000Z",
  "site": "at://did:plc:oql6ds5vnff4ugar6rruliwd/site.standard.publication/3mn3ohu7oxx5w",
  "tags": [
    "B81B3/0021",
    "COMMISSARIAT ENERGIE ATOMIQUE [FR]"
  ],
  "textContent": "L'invention est relative à un capteur ayant une masse (2) mobile relativement á un substrat (1), avec un dispositif de détection à transduction, comprenant une jauge (3) de contrainte suspendue au-dessus d'une face (13) du substrat (1) et comprenant un élément piézorésistif (31) ayant une première extrémité ancrée relativement au substrat (1) et une deuxième extrémité ancrée relativement à la masse mobile (2); au moins une partie de la surface de l'élément piézorésistif (31) est recouverte par un empilement comprenant, successivement depuis la surface de l'élément piézorésistif (31), une couche diélectrique (32) et une couche électriquement conductrice (33). L'empilement est configuré de maniére qu'il augmente la capacité entre l'élément résistif et le substrat. L'invention résulte dans une réduction du bruit en 1/f .",
  "title": "DETECTION DEVICE USING PIEZORESISTIVE TRANSDUCER"
}